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这台小设备4亿美金!中国什么时候能国产!

2019-10-19 09:59编辑:admin人气:


OFweek工控网讯:看似不大一个设备,但这台设备的价格是4亿美元,其生产商是全球著名的光刻机生产厂商--ASML。ASML总部位于荷兰,向全球最先进的复杂集成电路制造设备--光刻机,并提供相关服务。它的主要客户是英特尔、三星、台积电、中芯国际还有海力士。

目前全球可生产商用光刻机的厂商只有四家,分别是ASML、尼康、佳能,还有中国的上海微电子。但这四家中绝大部分的市场,尤其是高端市场都在ASML。上微也有自己的光刻机,并在中国大陆及台湾销售,但高端光刻机的技术还需要突破。

这次海力士购买的NXT:198Di光刻机属于ASML的高端机型,ASML的产品线分为PAS、AT、XT和NXT系列,前两种系列基本不再推了,XT和NXT分别是ArF和KrF激光光源机型,NXT是更为先进的浸没式,目前最为先进的EUV光刻机,还未大量上市。

NXT:198Di光刻机在套刻、对焦控制以及生产效率上表现优越、同时具有格点校正功能,可以让生产商在下世代制程节点达到更紧密制程窗口的硬件设计。

(来源:未知)

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